电流体动力喷印能满足未来制造电子器件的苛刻要求

电子器件的制造是ehd电流体喷印的主要应用之一。与利用光刻图案化、功能材料的物理或化学气相沉积以及干湿蚀刻来定义器件特性的传统电子制造方法相比,印刷工艺为电子制造提供了许多独特的优势。此外,印刷技术具有独特的能力,可以在非常规基板上提供可能与半导体制造工艺不兼容的各种功能材料,例如柔性/可拉伸基板和不均匀曲面。因此,印刷电子成为一个新兴产业受到电子制造界的高度重视。虽然喷墨打印目前是一种工业印刷电子的标准,因为这项技术几十年来被广泛使用,现在已经落后于要求严格的快速发展的电子工业对分辨率的要求。最先进的电子技术不断追求更高水平的特性/功能集成和关键特性尺寸的减小,以获得更好的性能,如功能增强、速度快和功耗低。ehd印刷作为一种高分辨率的印刷方法,满足了未来印刷电子对分辨率的要求。电流体动力印刷已经被证明是一种有效的电子制造方法,许多电子器件已经成功制造出来。将ehd印刷工艺应用于触摸传感器、微悬臂梁传感器、应变传感器等传感器的研究。柔性触摸传感器直接由ehd打印到柔性基板(聚对苯二甲酸乙二醇酯)具有精心控制的绘图速度和印刷电压。用于制造触摸传感器的导电材料是银纳米颗粒,纳米颗粒的重量比约为20-35%。印刷的触摸传感器具有良好的灵活性和对触摸信号的敏感响应。微悬臂梁传感器可以提供高灵敏度的各种分析物的无标签检测。通过EHD印刷,成功地将直径小于10μm的聚合物液滴沉积到悬臂梁的顶端。


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